一種晶圓缺陷的多晶不良檢測方法、裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110427427.X 申請日 -
公開（公告）號 CN112991332A 公開（公告）日 2021-06-18
申請公布號 CN112991332A 申請公布日 2021-06-18
分類號 G06T7/00;G06T7/11;G06T7/136;G06N3/04;G06N3/08;H01L21/66 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 別曉輝;王開開;別偉成;單書暢 申請（專利權）人 視睿（杭州）信息科技有限公司
代理機構 杭州華知專利事務所（普通合伙） 代理人 張德寶
地址 310000 浙江省杭州市余杭區(qū)余杭街道文一西路1818-2號5幢313室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種晶圓缺陷的多晶不良檢測方法、裝置、計算機設備和存儲介質。所述方法包括：加載晶圓待檢測圖像；將所述晶圓待檢測圖像通過圖像閾值分割方法，獲得晶圓顆粒圖像；對所述晶圓待檢測圖像進行閾值分割，獲得多晶區(qū)域的位置；根據(jù)晶圓顆粒圖像的目標框邊界距離，判斷所述晶圓顆粒圖像是否為多晶不良顆粒；如果所述晶圓顆粒圖像不為多晶不良顆粒，再次判斷所述晶圓顆粒圖像是否位于所述多晶區(qū)域的位置；如果所述晶圓顆粒圖像位于所述多晶區(qū)域的位置，則所述晶圓顆粒圖像為多晶不良顆粒。采用本方法能夠提高多晶不良缺陷檢測的準確率。