一種晶圓缺陷的多晶不良檢測(cè)方法、裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110427427.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112991332A 公開（公告）日 2021-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112991332A 申請(qǐng)公布日 2021-06-18
分類號(hào) G06T7/00;G06T7/11;G06T7/136;G06N3/04;G06N3/08;H01L21/66 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 別曉輝;王開開;別偉成;單書暢 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 視睿（杭州）信息科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州華知專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張德寶
地址 310000 浙江省杭州市余杭區(qū)余杭街道文一西路1818-2號(hào)5幢313室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)涉及一種晶圓缺陷的多晶不良檢測(cè)方法、裝置、計(jì)算機(jī)設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)。所述方法包括：加載晶圓待檢測(cè)圖像；將所述晶圓待檢測(cè)圖像通過圖像閾值分割方法，獲得晶圓顆粒圖像；對(duì)所述晶圓待檢測(cè)圖像進(jìn)行閾值分割，獲得多晶區(qū)域的位置；根據(jù)晶圓顆粒圖像的目標(biāo)框邊界距離，判斷所述晶圓顆粒圖像是否為多晶不良顆粒；如果所述晶圓顆粒圖像不為多晶不良顆粒，再次判斷所述晶圓顆粒圖像是否位于所述多晶區(qū)域的位置；如果所述晶圓顆粒圖像位于所述多晶區(qū)域的位置，則所述晶圓顆粒圖像為多晶不良顆粒。采用本方法能夠提高多晶不良缺陷檢測(cè)的準(zhǔn)確率。