一種太陽電池的硅片清洗制絨方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210402361.X 申請日 -
公開（公告）號 CN102938431B 公開（公告）日 2015-09-16
申請公布號 CN102938431B 申請公布日 2015-09-16
分類號 H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 彭錚;李媛媛;王巍;楊磊;李正平;沈文忠 申請（專利權）人 上海中智光纖通訊有限公司
代理機構 上海泰能知識產(chǎn)權代理事務所 代理人 上海中智光纖通訊有限公司;中智（泰興）電力科技有限公司
地址 201108 上海市閔行區(qū)金都路4299號208室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種太陽電池的清洗制絨方法，包括：對硅片的預清洗、堿性溶液下去損傷層、表面氧化層刻蝕、干燥工序、預清洗、制絨形成金字塔絨面結構、清洗去除有機物、表面拋光圓滑絨面、清洗去除金屬雜質(zhì)、表面氧化層刻蝕、干燥工序。本發(fā)明的清洗制絨方法操作簡單，成本低廉，適用于大面積太陽電池的批量生產(chǎn)；運用本發(fā)明的清洗制絨方法，可以使硅片表面清洗得更干凈，同時形成的金字塔絨面的頂部帶有一定的圓滑面，有利于解決在后續(xù)的等離子體沉積中由于尖端放電等不利因素導致的非晶硅薄膜沉積不均勻的問題。