一種太陽(yáng)電池的硅片清洗制絨方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210402361.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102938431A 公開(kāi)（公告）日 2013-02-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN102938431A 申請(qǐng)公布日 2013-02-20
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 彭錚;李媛媛;王巍;楊磊;李正平;沈文忠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海中智光纖通訊有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 上海中智光纖通訊有限公司;中智（泰興）電力科技有限公司
地址 201108 上海市閔行區(qū)金都路4299號(hào)208室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種太陽(yáng)電池的清洗制絨方法，包括：對(duì)硅片的預(yù)清洗、堿性溶液下去損傷層、表面氧化層刻蝕、干燥工序、預(yù)清洗、制絨形成金字塔絨面結(jié)構(gòu)、清洗去除有機(jī)物、表面拋光圓滑絨面、清洗去除金屬雜質(zhì)、表面氧化層刻蝕、干燥工序。本發(fā)明的清洗制絨方法操作簡(jiǎn)單，成本低廉，適用于大面積太陽(yáng)電池的批量生產(chǎn)；運(yùn)用本發(fā)明的清洗制絨方法，可以使硅片表面清洗得更干凈，同時(shí)形成的金字塔絨面的頂部帶有一定的圓滑面，有利于解決在后續(xù)的等離子體沉積中由于尖端放電等不利因素導(dǎo)致的非晶硅薄膜沉積不均勻的問(wèn)題。