采用絨面光滑圓整技術(shù)的異質(zhì)結(jié)太陽電池清洗制絨方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210042842.4 申請日 -
公開（公告）號 CN102593268B 公開（公告）日 2014-12-17
申請公布號 CN102593268B 申請公布日 2014-12-17
分類號 H01L31/20(2006.01)I;C30B33/10(2006.01)I;C23F1/24(2006.01)I;C23F1/32(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 華夏;李媛媛;彭錚;王巍;李正平;沈文忠;彭德香;溫超 申請（專利權(quán)）人 上海中智光纖通訊有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海泰能知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 上海中智光纖通訊有限公司;中智（泰興）電力科技有限公司
地址 201108 上海市閔行區(qū)金都路4299號208室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種采用絨面光滑圓整技術(shù)的異質(zhì)結(jié)太陽電池清洗制絨方法，包括：首先通過對高質(zhì)量硅片在堿性環(huán)境下預(yù)清洗，經(jīng)堿性腐蝕去鋸齒后，進(jìn)行表面金字塔結(jié)構(gòu)化學(xué)制絨，再二次清洗之后使用RSS技術(shù)做絨面結(jié)構(gòu)光滑圓整，之后在酸性環(huán)境下清洗，最后去氧化層腐蝕之后烘干干燥。本發(fā)明解決了由于等離子體尖端放電等不利因素導(dǎo)致的非晶硅薄膜沉積不均勻的問題，同時(shí)適用于大面積太陽電池生產(chǎn)，這為大規(guī)模生產(chǎn)高效HIT電池提供了重要參考，在光伏制造領(lǐng)域有著巨大意義。