光譜儀氬氣激發(fā)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410068117.3 申請日 -
公開（公告）號 CN103868892B 公開（公告）日 2016-09-14
申請公布號 CN103868892B 申請公布日 2016-09-14
分類號 G01N21/63(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張乃州;趙珍陽;邱平;高國棟;李香宇;王世功;田中朝;許玉興 申請（專利權(quán)）人 山東東儀光電儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京雙收知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 煙臺東方分析儀器有限公司;山東東儀光電儀器有限公司
地址 264003 山東省煙臺市萊山區(qū)金都路10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種光譜儀氬氣激發(fā)系統(tǒng)，包括強吹氣路、主氣路、側(cè)氣路、公共氣路、快門控制氣路，上述各氣路設(shè)置在光譜儀氬氣激發(fā)系統(tǒng)的集成氣路板上；所述強吹氣路的氣流入口為氣源，氣流出口為第一出氣口；所述公共氣路的氣流入口為氣源，并連接所述快門控制氣路；所述主氣路的氣流入口在所述公共氣路上，并設(shè)置有氬氣表，氣流出口為第一出氣口；所述側(cè)氣路的氣流入口在所述公共氣路上，氣流出口為第二出氣口；所述快門控制氣路的氣流出口為第三出氣口；上述各氣路上分別至少設(shè)置有一個電磁閥。本發(fā)明使得光譜儀氬氣激發(fā)系統(tǒng)能夠改變壓強、有不同氣路設(shè)計且氣密性良好，提高了氬氣激發(fā)系統(tǒng)的精度。