一種用于電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的分光色散裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910862705.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110530516A 公開（公告）日 2019-12-03
申請公布號 CN110530516A 申請公布日 2019-12-03
分類號 G01J3/02;G01J3/18;G01J3/28;G01J3/443;G01N21/73 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張勇;趙珍陽;王世功;許玉興;田中朝;張春梅;張麗玫 申請（專利權(quán)）人 山東東儀光電儀器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 煙臺(tái)上禾知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 曲姮
地址 264000 山東省煙臺(tái)市高新區(qū)創(chuàng)新路28號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種用于電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀的分光色散裝置，按光路傳播方向包括匯聚透鏡、分光鏡和光柵；所述分光鏡為半反半透棱鏡。所述光柵為兩個(gè)，分別為平場光柵和平面光柵。光源發(fā)出的光信號經(jīng)匯聚透鏡聚焦后，通過半反半透棱鏡將光分成兩束，分別為透射光和反射光，其中透射光經(jīng)過平場光柵色散分光，反射光經(jīng)過平面光柵色散分光。