壓印模具的制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910018231.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111427233A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-07-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111427233A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-17 |
| 分類號(hào) | G03F7/00 | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 謝自民;王亞平;平財(cái)明;林濤 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州藍(lán)沛光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 余明偉 |
| 地址 | 215316 江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)城北開(kāi)貴路11號(hào)3房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種壓印模具的制作方法，包括如下步驟：1)制作母版結(jié)構(gòu)，母版結(jié)構(gòu)的表面形成有多個(gè)第一凹槽結(jié)構(gòu)；2)基于母版結(jié)構(gòu)制作轉(zhuǎn)印模板，轉(zhuǎn)印模板的表面形成有多個(gè)凸起結(jié)構(gòu)；3)提供壓印模具基板；4)于壓印模具基板的表面形成壓印模具柔性材料層；5)基于轉(zhuǎn)印模板采用壓印工藝于壓印模具柔性材料層的表面形成多個(gè)第二凹槽結(jié)構(gòu)；6)將壓印模具柔性材料層固化；7)剝離轉(zhuǎn)印模板。本發(fā)明的壓印模具的制作方法可以提高母版結(jié)構(gòu)的利用率，制備工藝簡(jiǎn)單，壓印模具內(nèi)的應(yīng)力較小，不會(huì)存在爆裂的風(fēng)險(xiǎn)。 |
