適用于圖像傳感器晶圓級(jí)測(cè)試的晶圓對(duì)準(zhǔn)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310684987.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103700602B 公開(kāi)（公告）日 2016-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN103700602B 申請(qǐng)公布日 2016-06-29
分類(lèi)號(hào) H01L21/66(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 熊望明;趙立新;李文強(qiáng) 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 格科微電子（浙江）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京戈程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 程偉;王剛
地址 201203 上海市浦東新區(qū)盛夏路560號(hào)2號(hào)樓11樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種適用于圖像傳感器晶圓級(jí)測(cè)試的晶圓對(duì)準(zhǔn)方法，包括：通過(guò)豎直方向移動(dòng)光源單元或承載裝置使光源單元與承載裝置沿豎直方向相互靠近，測(cè)試針卡裝置沿豎直方向向下移動(dòng)；提供設(shè)置于測(cè)試針卡的定位窗口，提供測(cè)試晶圓中至少兩個(gè)的定位點(diǎn)；測(cè)試針卡裝置由定位窗口通過(guò)相機(jī)尋找測(cè)試晶圓上的定位點(diǎn)，進(jìn)而調(diào)整晶圓的角度，使得所述的測(cè)試針卡裝置與所述的測(cè)試晶圓平行，匹配測(cè)試晶圓的位置；提供設(shè)置于測(cè)試針卡裝置的輔助對(duì)針單元，輔助對(duì)針單元的至少兩個(gè)輔助針頭暴露出測(cè)試針卡裝置的下表面；輔助對(duì)針單元的輔助針頭接觸于晶粒的焊球點(diǎn)，匹配測(cè)試針卡裝置與測(cè)試晶圓的晶粒的位置，實(shí)現(xiàn)測(cè)試針卡裝置與測(cè)試晶圓的對(duì)準(zhǔn)。