一種金屬懸臂梁結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820437776.3 申請日 -
公開（公告）號 CN208200365U 公開（公告）日 2018-12-07
申請公布號 CN208200365U 申請公布日 2018-12-07
分類號 B81B3/00 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 趙立新;蔣珂瑋 申請（專利權(quán)）人 格科微電子（浙江）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 314000 浙江省嘉興市嘉善縣惠民街道臺升大道111號1幢2樓201室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提出一種金屬懸臂梁結(jié)構(gòu)，金屬懸臂梁結(jié)構(gòu)一端懸空的貼附于半導(dǎo)體基板的正面，所述半導(dǎo)體基板正面形成有金屬線路層、金屬接觸點，金屬懸臂梁結(jié)構(gòu)與金屬接觸點電性連接；所述金屬懸臂梁結(jié)構(gòu)成形為凹凸結(jié)構(gòu)。本實用新型中，金屬懸臂梁結(jié)構(gòu)的懸臂端對應(yīng)于圖像傳感器芯片的背面，通過控制芯片驅(qū)動圖像傳感器芯片運動，實現(xiàn)光學防抖功能。