PVD真空鍍?cè)O(shè)備陰極偏壓電流傳導(dǎo)機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821713995.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN208965018U 公開(kāi)（公告）日 2019-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN208965018U 申請(qǐng)公布日 2019-06-11
分類(lèi)號(hào) C23C14/22（2006.01）I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 唐其華 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 華閩南配集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 353000 福建省南平市延平區(qū)長(zhǎng)沙高新園(華閩南配集團(tuán)股份有限公司)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及PVD真空鍍?cè)O(shè)備陰極偏壓電流傳導(dǎo)機(jī)構(gòu)，應(yīng)用于傳導(dǎo)活塞環(huán)PVD真空鍍中陰極所需的電流。PVD真空鍍?cè)O(shè)備陰極偏壓電流傳導(dǎo)機(jī)構(gòu)，包括銅棒和工裝架底板，其特征是還包括單直角銅排、雙直角長(zhǎng)銅排；單直角銅排前段與工裝架底板下表面通過(guò)螺栓緊固；單直角銅排后段與雙直角長(zhǎng)銅排前段通過(guò)鎖緊螺栓連接；雙直角長(zhǎng)銅排后段與銅棒上端側(cè)部銑面通過(guò)螺絲緊固；雙直角長(zhǎng)銅排中段處于水平面內(nèi)。具有以下優(yōu)點(diǎn)：增大了銅棒上端向上傳導(dǎo)電流的接觸面，過(guò)電流能力增強(qiáng)；增粗了用于緊固的螺栓，銅棒與上部元件連接的接觸狀態(tài)改善明顯；采用銅排螺栓緊固連接，電流傳導(dǎo)狀態(tài)穩(wěn)定，避免了傳導(dǎo)線路中因接觸不穩(wěn)定引起的發(fā)熱。