一種薄膜生長系統(tǒng)以及基片托盤和載環(huán)組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023270443.2 申請日 -
公開（公告）號 CN214313127U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214313127U 申請公布日 2021-09-28
分類號 H01J37/32（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/34（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張輝;姜勇 申請（專利權(quán)）人 南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機構(gòu) 上海元好知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐雯瓊;張靜潔
地址 201201上海市浦東新區(qū)金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）泰華路188號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種支撐基片的基片托盤，所述基片托盤包括側(cè)壁和側(cè)壁圍繞而成的的加熱腔，所述側(cè)壁頂部包括蓋板，所述頂蓋用于向下輻射熱量；所述頂蓋下方的側(cè)壁內(nèi)側(cè)包括多個互相分離的支撐腔，以及與每個支撐腔相鄰的舉升腔，所述舉升腔底部向下延伸并穿過基片托盤側(cè)壁底面，使得舉升腔與基片托盤下方空間聯(lián)通，所述支撐腔底部平面高于所述基片托盤底面。與相應(yīng)的載環(huán)組件配合后能夠使得基片從基片托盤底部取放，簡化取放基片流程。