金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911411224.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113122823A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN113122823A 申請公布日 2021-07-16
分類號 C23C16/455（2006.01）I;C23C16/30（2006.01）I;H01L33/32（2010.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王文;胡建正;郭泉泳;郭世平 申請（專利權(quán)）人 南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海元好知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 包姝晴;張靜潔
地址 201201上海市浦東新區(qū)金橋出口加工區(qū)（南區(qū)）泰華路188號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器，包括：反應(yīng)腔，頂部包括氣體噴淋頭，氣體噴淋頭包括第一輸入端口、第二輸入端口和第三輸入端口；前驅(qū)物輸送管道組，與多種前驅(qū)物源連接；前驅(qū)物匯合輸入管道，與前驅(qū)物輸送管道組連通，用于匯合多種前驅(qū)物，連通第一輸入端口；鎂前驅(qū)物輸入管道，與鎂前驅(qū)物源連接，且連通第二輸入端口；氮前驅(qū)物輸送管道，與氮前驅(qū)物源連接，且連通氣體噴淋頭的第三輸入端口。利用所述金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器能夠降低反應(yīng)器的復(fù)雜度，且提高發(fā)光二極管的發(fā)光強(qiáng)度。