一種高線性度垂直腔面激光器芯片的制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110635957.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113484717A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113484717A 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) G01R31/28（2006.01）I;G01R31/01（2020.01）I;H01S5/00（2006.01）I;B07C5/344（2006.01）I;B07C5/36（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 鄭君雄;鄭世進(jìn);崔雨舟;王青 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市中科光芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京恒泰銘睿知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張靜
地址 518100廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣坑社區(qū)黃閣北路449號(hào)龍崗天安數(shù)碼創(chuàng)新園二號(hào)廠房B401-W
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及芯片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)一種高線性度垂直腔面激光器芯片的制造方法，包括支撐機(jī)構(gòu)、檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述支撐機(jī)構(gòu)包括支撐座，所述支撐座的內(nèi)部固定連接有滑動(dòng)腔座，所述支撐座的外表面活動(dòng)連接有安裝盤，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括檢測(cè)板，所述檢測(cè)板的側(cè)表面活動(dòng)連接有回收座，所述檢測(cè)板的外表面開(kāi)設(shè)有檢測(cè)槽，還包括對(duì)接組件，所述對(duì)接組件包括壓力框，所述壓力框的內(nèi)部活動(dòng)連接有擠壓簧架，所述壓力框的側(cè)表面活動(dòng)連接有伸縮架，所述伸縮架的側(cè)表面活動(dòng)連接有活動(dòng)桿，所述活動(dòng)桿的左右兩側(cè)均活動(dòng)連接有連接繩。在使用時(shí)可以自動(dòng)對(duì)芯片座進(jìn)行檢測(cè)，操作較為方便，能夠準(zhǔn)確的對(duì)芯片進(jìn)行檢測(cè)，且方便了對(duì)芯片的回收和篩選。