一種制作雙面透明導(dǎo)電氧化物薄膜的鍍鏌設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110368849.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113201721A 公開（公告）日 2021-08-03
申請公布號 CN113201721A 申請公布日 2021-08-03
分類號 C23C14/56;C23C14/08;C23C16/54;C23C16/44;C23C16/40;B08B5/04 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李剛 申請（專利權(quán)）人 揚(yáng)州萬潤光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京哌智科創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 郭佳
地址 225000 江蘇省揚(yáng)州市儀征經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)景秀路66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種制作雙面透明導(dǎo)電氧化物薄膜的鍍鏌設(shè)備，屬于薄膜制備技術(shù)領(lǐng)域，包括底座，所述底座的頂部固定有真空室，所述真空室的一側(cè)安裝有真空泵，所述真空室內(nèi)部的兩側(cè)皆固定有隔板，所述隔板上皆對稱開設(shè)有通槽。本發(fā)明通過U型管、罩板、吸塵倉、負(fù)壓風(fēng)機(jī)、濾網(wǎng)組成的吸塵機(jī)構(gòu)能夠在裝置鍍鏌之前進(jìn)行除塵，避免灰塵影響鍍鏌的效果，且通過吸塵機(jī)構(gòu)配合U型板以及除靜電毛刷組成的靜電消除機(jī)構(gòu)，能夠降低灰塵與薄膜之間的粘連效果，提高了除塵的效果，真空室內(nèi)部第一橫向壓輥、第二橫向壓輥、第一縱向壓輥、第二縱向壓輥組成的薄膜翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的設(shè)置，能夠使得薄膜的正反面同時進(jìn)行鍍鏌，確保了鍍鏌的效果。