一種基于LICVD法的納米材料生產(chǎn)設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910054033.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN109692639B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN109692639B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-27 |
| 分類號(hào) | B01J19/12（2006.01）I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 曹燕紅 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 蘇州邦得建筑科技有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 泉州市興博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 易敏 |
| 地址 | 215159 江蘇省蘇州市吳中區(qū)光福鎮(zhèn)鳳山路205號(hào)（蘇州市天南電子有限公司1幢） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種基于LICVD法的納米材料生產(chǎn)設(shè)備，包括反應(yīng)室、控制器、供氣機(jī)構(gòu)、清潔機(jī)構(gòu)、捕集器和照射機(jī)構(gòu)，清潔機(jī)構(gòu)包括惰氣室、加熱盒、注水管、排水管和排氣管，供氣機(jī)構(gòu)包括混合管、混合室和若干供氣組件，供氣組件包括供氣室和供氣管，混合室內(nèi)設(shè)有第一電機(jī)和第一齒輪，供氣管內(nèi)設(shè)有調(diào)節(jié)組件，調(diào)節(jié)組件包括第二齒輪、轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)盤(pán)和供氣單元，該基于LICVD法的納米材料生產(chǎn)設(shè)備通過(guò)清潔機(jī)構(gòu)對(duì)反應(yīng)室內(nèi)部進(jìn)行清潔，使反應(yīng)室中充滿惰性氣體，保證了反應(yīng)環(huán)境的清潔，便于納米材料的生產(chǎn)，不僅如此，通過(guò)供氣機(jī)構(gòu)向反應(yīng)室提供特定比例的多種氣體，便于各種反應(yīng)氣體充分反應(yīng)，防止氣體浪費(fèi)，減小生產(chǎn)成本，提高了設(shè)備的實(shí)用性。 |
