一種單晶硅快速退火輔助降溫裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122002212.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216074100U | 公開（公告）日 | 2022-03-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216074100U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-18 |
| 分類號(hào) | C30B33/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 馬飛;婁中士;李鵬飛;張凈源;閆鵬飛;袁長宏;周宏邦;賈海洋;張強(qiáng);王淼;張恒 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 內(nèi)蒙古中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 欒志超 |
| 地址 | 010070內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市賽罕區(qū)寶力爾街15號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種單晶硅快速退火輔助降溫裝置，包括水平方向設(shè)置的工作臺(tái)，用于放置待退火處理的單晶硅；豎直方向上設(shè)置的支撐桿，支撐桿一端設(shè)置于工作臺(tái)上，支撐桿另一端設(shè)置有懸掛桿，懸掛桿為水平方向上設(shè)置，懸掛桿一端與支撐桿連接；懸掛設(shè)置于懸掛桿下方的主風(fēng)扇，用于向工作臺(tái)提供風(fēng)冷，輔助單晶硅快速退火降溫。本實(shí)用新型解決了目前現(xiàn)有技術(shù)由于RTP設(shè)備自身的限制，處理結(jié)束后，單晶硅自然降溫速率較低，降溫慢，無法滿足實(shí)際生產(chǎn)需求，影響生產(chǎn)效率的問題；提供一種單晶硅快速退火輔助降溫裝置，該輔助降溫裝置可以對(duì)經(jīng)過RTP處理后的單晶硅樣品進(jìn)行快速冷卻，可以顯著增加單晶硅的退火降溫效率，提高生產(chǎn)效率。 |
