一種晶圓棒周轉(zhuǎn)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021695431.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213228812U 公開（公告）日 2021-05-18
申請公布號 CN213228812U 申請公布日 2021-05-18
分類號 B62B3/10;B62B3/04;B62B5/00 分類 無軌陸用車輛;
發(fā)明人 王連文;張強(qiáng);婁中士;王立剛;郝小龍;王淼;周宏邦;賈海洋;李仕權(quán) 申請（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 欒志超
地址 010070 內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市賽罕區(qū)寶力爾街15號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種晶圓棒周轉(zhuǎn)裝置，具有架體和置于所述架體上端面用于放置晶圓棒的若干放置槽，還具有：至少設(shè)置在兩個所述放置槽上端面的滑輪件；以及用于固定所述晶圓棒的固定帶；所述滑輪件被相對設(shè)置于所述放置槽上端面兩內(nèi)側(cè)面，并與所述晶圓棒外壁接觸；靠近所述晶圓棒底部一側(cè)的兩個所述滑輪件與所述晶圓棒的連接點與所述晶圓棒的切線夾角為銳角或直角；所述固定帶被設(shè)置在所述放置槽寬度兩側(cè)；推動所述晶圓棒，并使其在所述滑輪件上沿所述架體長度方向水平滑動。本實用新型周轉(zhuǎn)裝置，可沿周轉(zhuǎn)裝置的長度方向自由地水平推移晶圓棒，并可將晶圓棒穩(wěn)定地固定在周轉(zhuǎn)裝置上；提升晶圓棒移動運(yùn)輸?shù)撵`活性，節(jié)約運(yùn)輸調(diào)整時間。