一種單晶爐導(dǎo)流筒固定裝置及運(yùn)輸機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202021695449.1 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN213232569U 公開(公告)日 2021-05-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN213232569U 申請(qǐng)公布日 2021-05-18
分類號(hào) C30B15/00 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 田宇翔;婁中士;袁長(zhǎng)宏;李鵬飛;田旭東;馬飛 申請(qǐng)(專利權(quán))人 內(nèi)蒙古中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 欒志超
地址 010070 內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市賽罕區(qū)寶力爾街15號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種單晶爐導(dǎo)流筒固定裝置,包括頂架、底架和連接所述頂架和所述底架的支桿組件,所述頂架與所述導(dǎo)流筒外壁相適配;所述導(dǎo)流筒被設(shè)置為貫穿所述頂架,并被內(nèi)置于所述支桿組件圍成的空間內(nèi)懸空設(shè)置。本實(shí)用新型還提出一種包括該固定裝置的運(yùn)輸機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型固定裝置,可穩(wěn)固承載放置導(dǎo)流筒,并可保護(hù)導(dǎo)流筒整體的完整性,僅僅需要更換不同尺寸的頂架即可放置不同尺寸的導(dǎo)流筒,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且易于加工,成本低且實(shí)用性強(qiáng),使得整體拆卸導(dǎo)流筒的時(shí)間大大縮短。采用該固定裝置的運(yùn)輸機(jī)構(gòu),易于操作且安全可控,使導(dǎo)流筒完整地被拆卸出單晶爐,不僅可避免在拆清過程中熱場(chǎng)導(dǎo)流筒被損壞風(fēng)險(xiǎn)。