一種集成真空測量室

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021625251.6 申請日 -
公開（公告）號 CN212779730U 公開（公告）日 2021-03-23
申請公布號 CN212779730U 申請公布日 2021-03-23
分類號 G01L21/00(2006.01)I;G01D21/02(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 應(yīng)建明;*俊鶴;溫玉珺;陳昊 申請（專利權(quán)）人 杭州富士達(dá)特種材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州君度專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 樂俊
地址 311500浙江省杭州市桐廬縣桐廬經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)鳳翔路178號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種集成真空測量室，包括室體、若干功能單元、用于連接待抽空件的真空快卸法蘭和用于連接抽空機(jī)組的抽空機(jī)組連接法蘭，真空快卸法蘭與室體密封連接，抽空機(jī)組連接法蘭與室體之間設(shè)有氣動高真空擋板閥，氣動高真空擋板閥的兩端分別與室體及抽空機(jī)組連接法蘭密封連接；所述的室體上設(shè)有若干用于連接功能單元的功能接口，功能接口的接管與室體密封連接，功能單元連接在功能接口上或直接與室體連接。本實用新型的功能單元均連接在室體上，功能單元高度集成，減少密封連接面數(shù)量，確保測量環(huán)境真實可靠，使尺寸緊湊，縮短真空管道尺寸，減少流導(dǎo)損失，提高抽空效率，功能齊全，部分功能單元可以更換，適應(yīng)多種使用環(huán)境，安裝拆卸方便。??