一種EEP溶劑及其除雜工藝和除雜系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011450344.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112661642B 公開（公告）日 2022-03-08
申請公布號 CN112661642B 申請公布日 2022-03-08
分類號 C07C67/56（2006.01）I;C07C67/48（2006.01）I;C07C67/60（2006.01）I;C07C67/54（2006.01）I;C07C69/708（2006.01）I 分類 有機化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 楊長青;楊曉紅 申請（專利權(quán)）人 北京化學(xué)試劑研究所有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 趙萬凱
地址 102600北京市大興區(qū)安定鎮(zhèn)安定南街1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及電子化學(xué)品的技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，它涉及一種EEP溶劑及其除雜工藝和除雜系統(tǒng)。其除雜工藝包括依次進行的以下步驟：抽取工業(yè)級EEP溶劑依次進行分子篩吸附、納濾、離子交換以及反應(yīng)精餾步驟，得到成品EEP溶劑；EEP溶劑除雜工藝的除雜系統(tǒng)，包括依次設(shè)置的原料罐、分子篩吸附柱、納濾裝置、離子樹脂交換柱、精餾塔以及成品罐。本發(fā)明的除雜方法得到的EEP溶劑可用于微電子生產(chǎn)，其中的雜質(zhì)水平顯著降低。