一種用于質(zhì)譜儀器在高真空環(huán)境下進(jìn)出艙取放靶板的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122367679.6 申請日 -
公開（公告）號 CN215953452U 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN215953452U 申請公布日 2022-03-04
分類號 G01N27/64（2006.01）I;H01J49/04（2006.01）I;H01J49/40（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 沈杰暉;劉蘭;黃昊 申請（專利權(quán)）人 廈門金諾花生物技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門原創(chuàng)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王桂婷
地址 福建省廈門市翔安區(qū)市頭路98號二層B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于質(zhì)譜儀器在高真空環(huán)境下進(jìn)出艙取放靶板的裝置，包括外設(shè)有真空泵的主腔體、波紋管、密封蓋板、靶托機(jī)構(gòu)、壓管機(jī)構(gòu)、泄壓觸發(fā)機(jī)構(gòu)，波紋管一端套設(shè)于主腔體頂部開口內(nèi)，另一端外露于主腔體，密封蓋板用于密封波紋管另一端開口，靶托機(jī)構(gòu)位于波紋管下方用于承托靶板，壓管機(jī)構(gòu)用于下壓波紋管下端管壓口使其與靶托機(jī)構(gòu)緊密貼合；泄壓觸發(fā)機(jī)構(gòu)包括分別設(shè)置于靶托機(jī)構(gòu)上和靶托機(jī)構(gòu)退到出艙位置上的一對常開觸點(diǎn)，波紋管外露于主腔體一端設(shè)有泄壓開關(guān)，泄壓開關(guān)連通一泄壓口，常開觸點(diǎn)閉合觸發(fā)泄壓開關(guān)打開。相比現(xiàn)有技術(shù)，該裝置可實(shí)現(xiàn)快速取放樣品靶，結(jié)構(gòu)簡單、可靠和耐用，安裝方便、密封性好。