一種用于CVD連續(xù)制備石墨烯的設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201521049268.0 申請日 -
公開(公告)號 CN205187875U 公開(公告)日 2016-04-27
申請公布號 CN205187875U 申請公布日 2016-04-27
分類號 C01B31/04(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 童磊;周忠福;王會利;王云龍;胡琪卉;李玲;郝福瑞;張玲玉;俞健舒;張家平 申請(專利權(quán))人 安徽易能新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥市上嘉專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 吳明華
地址 243051 安徽省馬鞍山市慈湖國家級高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)園中路398號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于CVD連續(xù)制備石墨烯的設(shè)備,包括管式爐和石英管道,所述石英管道穿過所述管式爐,所述石英管道的兩端分別設(shè)有第一法蘭和第二法蘭,所述第一法蘭的外側(cè)設(shè)有入氣口,所述第一法蘭的內(nèi)側(cè)設(shè)有第一支架;所述第二法蘭的外側(cè)設(shè)有出氣口,所述第二法蘭的內(nèi)側(cè)設(shè)有第二支架;所述第一支架和第二支架相向側(cè)處分別設(shè)有第一滾軸和第二滾軸,柔性基底纏繞在所述第一滾軸上并牽引至第二滾軸,電機(jī)帶動第二滾軸轉(zhuǎn)動;所述第一滾軸和第二滾軸均為可拆卸式滾軸。本實(shí)用新型以管式爐為基礎(chǔ),通過使基底連續(xù)通過加熱區(qū)的方式來避免反復(fù)升溫降溫以及更換基底的過程,提高石墨烯制備的效率,同時減少能耗,提高能源利用率。