一種雙向ESD保護器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911000838.X 申請日 -
公開（公告）號 CN110649017A 公開（公告）日 2020-01-03
申請公布號 CN110649017A 申請公布日 2020-01-03
分類號 H01L27/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張鵬;楊鈺琳;宋文龍 申請（專利權）人 江蘇吉萊微電子股份有限公司
代理機構 南京正聯(lián)知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 啟東吉萊電子有限公司
地址 226200 江蘇省南通市啟東經(jīng)濟開發(fā)區(qū)錦繡路1800號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種雙向ESD保護器件，由N+襯底層101、P型外延層102和N+摻雜層103組成的芯片；所述N+襯底層101上方設P型外延層102，P型外延層102上方設N+摻雜層103；深隔離槽104位于芯片左右兩側(cè)，其中靠近芯片中心區(qū)域的深隔離槽104內(nèi)設有摻雜的多晶浮島108，隔離介質(zhì)層105介于深隔離槽104與正面電極106之間，正面電極106位于N+摻雜層103和隔離介質(zhì)層105上方，背面電極107形成于N+襯底層101之下。本發(fā)明針對普通電容、大電流泄放能力應用的ESD保護，采用槽柵隔離的縱向三極管結(jié)構，解決了集成電路靜電釋放問題。