新型臺(tái)面結(jié)構(gòu)芯片結(jié)構(gòu)及PN終端面玻璃鈍化制作工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011368061.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112366229A 公開(kāi)（公告）日 2021-02-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN112366229A 申請(qǐng)公布日 2021-02-12
分類號(hào) H01L29/74;H01L23/29;H01L21/332;H01L21/56;C25D13/12 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 許志峰;李超;張鵬;周健 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇吉萊微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 盧海洋
地址 226200 江蘇省南通市啟東市匯龍鎮(zhèn)公園北路1261號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種新型臺(tái)面結(jié)構(gòu)芯片結(jié)構(gòu)及PN終端面玻璃鈍化制作工藝，本發(fā)明臺(tái)面結(jié)構(gòu)芯片PN終端面經(jīng)過(guò)腐蝕成型后既可以直接在硅基表面采用智能電泳法、形成玻璃層，特別地在硅基表面通過(guò)LPCVD方法生長(zhǎng)SIPOS膜后，在半絕緣多晶SIPOS膜層上，通過(guò)電泳液配比研究，確定獨(dú)特的電泳液配方，在電泳工藝過(guò)程中采用動(dòng)態(tài)智能監(jiān)控軟件系統(tǒng)，具有實(shí)時(shí)監(jiān)控、異常告警、儲(chǔ)存追溯特點(diǎn)。高溫?zé)Y(jié)形成均勻、致密、透明的玻璃膜。采用上述方案形成的芯片PN終端面結(jié)構(gòu)芯片，具有擊穿耐壓高、高溫漏電小，可靠性高特征。