一種硅片酸洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210552745.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114686901A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114686901A 申請公布日 2022-07-01
分類號 C23G3/00（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周文;劉勇勛;魏航;王文彬;楊佐東 申請（專利權(quán)）人 重慶芯潔科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶樂泰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 401326重慶市九龍坡區(qū)西彭鎮(zhèn)西彭園區(qū)D40標(biāo)準(zhǔn)廠房5號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片酸洗裝置，屬于酸洗技術(shù)領(lǐng)域，包括酸洗管，所述酸洗管內(nèi)設(shè)置有酸洗單元，酸洗單元均包括轉(zhuǎn)動環(huán)、矩形酸洗下框以及酸洗板，轉(zhuǎn)動環(huán)通過連接軸與酸洗管轉(zhuǎn)動連接，酸洗下框一端的連接有固定管，轉(zhuǎn)動環(huán)的內(nèi)部設(shè)有翻轉(zhuǎn)電機(jī)，翻轉(zhuǎn)電機(jī)的動力端與固定管固定連接，酸洗下框另一端連接在轉(zhuǎn)動環(huán)上；酸洗板上開有若干通槽，通槽的四周均開有四個容納槽，容納槽內(nèi)均設(shè)有轉(zhuǎn)動組，每個轉(zhuǎn)動組均包括連接在容納槽內(nèi)的轉(zhuǎn)動電機(jī)和轉(zhuǎn)動氣缸，轉(zhuǎn)動氣缸連接有開有滑槽的固定塊，滑槽中部設(shè)置有相向分布的兩個夾持氣缸，兩個夾持氣缸的輸出端均連接夾持板，本申請能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中因硅片堆積在一起而導(dǎo)致對硅片酸洗效果不理想的技術(shù)問題。