用于半導(dǎo)體顯示襯底的超聲波清洗設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020347159.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211938193U | 公開（公告）日 | 2020-11-17 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211938193U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-11-17 |
| 分類號(hào) | B08B3/12(2006.01)I;B08B3/04(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 陸雄;王文彬;魏航;陶金;周文 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 重慶芯潔科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 韓璐 |
| 地址 | 400000重慶市九龍坡區(qū)西彭鎮(zhèn)西彭園區(qū)D40標(biāo)準(zhǔn)廠房5號(hào)樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體顯示襯底清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種用于半導(dǎo)體顯示襯底的超聲波清洗設(shè)備，包括清洗槽、超聲波發(fā)生裝置、清洗治具和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，超聲波發(fā)生裝置設(shè)置在清洗槽內(nèi)，清洗治具用于放置半導(dǎo)體顯示襯底，包括安裝框架、兩個(gè)支撐板和鎖定結(jié)構(gòu)，兩個(gè)支撐板分別設(shè)置在安裝框架內(nèi)側(cè)的兩端、并與安裝框架滑動(dòng)連接，且兩個(gè)支撐板的相對(duì)的一側(cè)分別設(shè)置有相互配合的V形槽，鎖定結(jié)構(gòu)用于鎖定兩個(gè)支撐板的位置，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)清洗治具做上下往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型所提供的用于半導(dǎo)體顯示襯底的超聲波清洗設(shè)備清洗效率高。?? |
