一種氣相沉積設(shè)備零部件用高壓水洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210004032.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114318294A 公開（公告）日 2022-04-12
申請公布號 CN114318294A 申請公布日 2022-04-12
分類號 C23C16/44（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周文;劉勇勛;魏航;王文彬;楊佐東 申請（專利權(quán)）人 重慶芯潔科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶樂泰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 雷鈔
地址 401326重慶市九龍坡區(qū)西彭鎮(zhèn)西彭園區(qū)D40標(biāo)準(zhǔn)廠房5號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于水洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種氣相沉積設(shè)備零部件用高壓水洗裝置，包括機(jī)架、出水管和連接管，機(jī)架上部設(shè)有水洗倉，機(jī)架下部設(shè)有儲水倉，水洗倉內(nèi)設(shè)有固定單元和水洗單元；連接管兩端分別與水洗單元和儲水倉連通，連接管還設(shè)有泵體；水洗倉內(nèi)設(shè)有出水口，機(jī)架下部設(shè)有回收部，回收部與出水口通過連接管連通；固定單元包括底座和固定件，固定件設(shè)置在底座上端并用于固定零部件，底座下端設(shè)有驅(qū)動底座轉(zhuǎn)動的驅(qū)動部。采用該高壓水洗裝置可以提高對氣相沉積設(shè)備零部件的高壓水洗效果，使氣相零部件設(shè)備被清洗的更加干凈。