一種CVD用陶瓷基板超聲清洗裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111443067.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114101208A | 公開（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114101208A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-01 |
| 分類號(hào) | B08B3/12（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;F16F15/067（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 魏航;周文;劉勇勛;王文彬;楊佐東 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 重慶芯潔科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 重慶樂泰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 雷鈔 |
| 地址 | 401326重慶市九龍坡區(qū)西彭鎮(zhèn)西彭園區(qū)D40標(biāo)準(zhǔn)廠房5號(hào)樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種CVD用陶瓷基板超聲清洗裝置，涉及超聲波清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括外箱、超聲波清洗內(nèi)箱、減震機(jī)構(gòu)、水循環(huán)機(jī)構(gòu)、左固定機(jī)構(gòu)和右活動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述外箱內(nèi)設(shè)有上腔和下腔，所述減震機(jī)構(gòu)安裝在上腔內(nèi)，所述水循環(huán)機(jī)構(gòu)安裝在下腔內(nèi)且與超聲波清洗內(nèi)箱相連通，所述超聲波清洗內(nèi)箱內(nèi)設(shè)有定位桿和傳動(dòng)桿，所述超聲波清洗內(nèi)箱的內(nèi)底部設(shè)有聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)與左固定機(jī)構(gòu)和右活動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接，所述超聲波清洗內(nèi)箱內(nèi)還設(shè)有控制電機(jī)，所述外箱的頂部設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)門，該轉(zhuǎn)動(dòng)門內(nèi)設(shè)有烘干風(fēng)機(jī)。本發(fā)明能夠滿足不同大小的陶瓷基板放置定位步驟，便于后續(xù)其清洗作業(yè)，實(shí)用性較強(qiáng)，并且實(shí)現(xiàn)清洗水的循環(huán)，減少資源的浪費(fèi)，提高了清洗效果。 |
