一種高靈敏度三軸MEMS加速度計及其制造工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310182168.4 申請日 -
公開（公告）號 CN104166016B 公開（公告）日 2016-06-01
申請公布號 CN104166016B 申請公布日 2016-06-01
分類號 G01P15/18(2013.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫晨;于連忠 申請（專利權(quán)）人 浙江芯動科技有限公司
代理機構(gòu) 北京金之橋知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所;浙江芯動科技有限公司
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種高靈敏度三軸MEMS加速度計，包括：測量體、與所述測量體相連接的上蓋板硅片以及下蓋板硅片；所述測量體為兩層結(jié)構(gòu)，每層包括外框架、內(nèi)框架以及質(zhì)量塊；所述外框架與所述內(nèi)框架之間通過第一彈性梁相連接；所述質(zhì)量塊與所述內(nèi)框架通過第二彈性梁相連接，所述質(zhì)量塊與所述內(nèi)框架之間設(shè)置有梳狀耦合結(jié)構(gòu)，其中上層測量體的梳狀耦合結(jié)構(gòu)走向與下層測量體的梳狀耦合結(jié)構(gòu)走向在投影平面上相互垂直，所述上層測量體與所述下層測量體分別測量兩個相互垂直方向上的加速度，所述上層測量體及下層測量體通過所述內(nèi)框架形成在第三個方向上運動的整體，并通過測量與上下蓋板之間電容的改變測量第三個方向上的加速度。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)三軸同時檢測，精度高，穩(wěn)定性好。