一種MEMS陀螺儀及其制造工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310221525.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104215232B 公開(kāi)（公告）日 2017-04-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN104215232B 申請(qǐng)公布日 2017-04-05
分類號(hào) G01C19/567(2012.01)I;G01C25/00(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 于連忠;孫晨 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江芯動(dòng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金之橋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 林建軍
地址 100029 北京市朝陽(yáng)區(qū)北土城西路19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種MEMS陀螺儀，包括：測(cè)量體、與所述測(cè)量體相連接的上蓋板硅片以及下蓋板硅片；所述測(cè)量體包括外框架、位于所述外框架內(nèi)的內(nèi)框架以及質(zhì)量塊；所述外框架與所述內(nèi)框架之間通過(guò)第一彈性梁相連接；所述質(zhì)量塊與所述內(nèi)框架通過(guò)所述第二彈性梁相連接。所述質(zhì)量塊和內(nèi)框架之間設(shè)置有四組相互對(duì)應(yīng)的梳狀耦合結(jié)構(gòu)。所述測(cè)量體的上下表面上均鍵合有帶電極的蓋板硅片。并與測(cè)量體之間形成一電容。本發(fā)明通過(guò)測(cè)量蓋板硅片與測(cè)量體之間的平板電容的變化來(lái)計(jì)算出旋轉(zhuǎn)的角速度。本發(fā)明具有檢測(cè)靈敏度、準(zhǔn)確度高等特點(diǎn)。