一種MEMS反相振動(dòng)陀螺儀及其制造工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310221698.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104215236B 公開（公告）日 2016-12-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN104215236B 申請(qǐng)公布日 2016-12-28
分類號(hào) G01C19/574(2012.01)I;G01C19/5769(2012.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 于連忠;孫晨 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江芯動(dòng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金之橋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所;浙江芯動(dòng)科技有限公司
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種MEMS反相振動(dòng)陀螺儀，包括：測(cè)量體、與所述測(cè)量體相連接的上蓋板以及下蓋板；所述測(cè)量體為兩個(gè)，沿垂直方向相對(duì)連接，每個(gè)所述測(cè)量體包括外框架、位于所述外框架內(nèi)的內(nèi)框架以及位于所述內(nèi)框架內(nèi)的質(zhì)量塊；兩個(gè)所述測(cè)量體之間通過所述外框架相連接；所述外框架與所述內(nèi)框架之間通過第一彈性梁相連接；所述質(zhì)量塊與所述內(nèi)框架通過所述第二彈性梁相連接；所述內(nèi)框架與所述外框架之間的相對(duì)邊設(shè)置有梳狀耦合結(jié)構(gòu)；兩個(gè)所述質(zhì)量塊在垂直方向上以相反方向振動(dòng)，本發(fā)明通過測(cè)量所述梳狀耦合結(jié)構(gòu)之間的電容變化來測(cè)量旋轉(zhuǎn)角速度。本發(fā)明具有檢測(cè)靈敏度高、耦合能耗小、噪聲小等特點(diǎn)。