一種MEMS反相振動陀螺儀及其制造工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310221698.5 申請日 -
公開（公告）號 CN104215236A 公開（公告）日 2014-12-17
申請公布號 CN104215236A 申請公布日 2014-12-17
分類號 G01C19/574(2012.01)I;G01C19/5769(2012.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 于連忠;孫晨 申請（專利權(quán)）人 浙江芯動科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金之橋知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所;浙江芯動科技有限公司
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種MEMS反相振動陀螺儀，包括：測量體、與所述測量體相連接的上蓋板以及下蓋板；所述測量體為兩個，沿垂直方向相對連接，每個所述測量體包括外框架、位于所述外框架內(nèi)的內(nèi)框架以及位于所述內(nèi)框架內(nèi)的質(zhì)量塊；兩個所述測量體之間通過所述外框架相連接；所述外框架與所述內(nèi)框架之間通過第一彈性梁相連接；所述質(zhì)量塊與所述內(nèi)框架通過所述第二彈性梁相連接；所述內(nèi)框架與所述外框架之間的相對邊設(shè)置有梳狀耦合結(jié)構(gòu)；兩個所述質(zhì)量塊在垂直方向上以相反方向振動，本發(fā)明通過測量所述梳狀耦合結(jié)構(gòu)之間的電容變化來測量旋轉(zhuǎn)角速度。本發(fā)明具有檢測靈敏度高、耦合能耗小、噪聲小等特點。