一種MEMS檢測裝置及其制造工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310304674.6 申請日 -
公開（公告）號 CN104296784A 公開（公告）日 2015-01-21
申請公布號 CN104296784A 申請公布日 2015-01-21
分類號 G01D3/08(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 于連忠;孫晨 申請（專利權(quán)）人 浙江芯動(dòng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金之橋知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所;浙江芯動(dòng)科技有限公司
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種MEMS檢測裝置，包括：測量體以及與所述測量體相連接的蓋板，所述測量體包括框架及設(shè)置在所述框架內(nèi)自由活動(dòng)的質(zhì)量塊，所述蓋板與所述質(zhì)量塊之間設(shè)置有過載保護(hù)裝置，所述過載保護(hù)裝置包括彈性部及凸點(diǎn)；所述凸點(diǎn)設(shè)置在所述彈性部上，所述彈性部設(shè)置在所述質(zhì)量塊或所述蓋板上，所述凸點(diǎn)限制所述質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)幅度。從而在外部沖擊力幅度超出檢測裝置的限定幅度時(shí)，保護(hù)質(zhì)量塊，進(jìn)而保護(hù)檢測裝置。