一種MEMS高精度諧振梁閉環(huán)控制陀螺儀及其制造工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310221840.6 申請日 -
公開（公告）號 CN104215231B 公開（公告）日 2016-12-28
申請公布號 CN104215231B 申請公布日 2016-12-28
分類號 G01C19/5656(2012.01)I;G01C19/5663(2012.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 于連忠;張忠山;孫晨 申請（專利權(quán)）人 浙江芯動科技有限公司
代理機構(gòu) 北京金之橋知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所;浙江芯動科技有限公司
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種MEMS高精度諧振梁閉環(huán)控制陀螺儀，包括：測量體、上蓋板及下蓋板，所述測量體包括基座、耦合框、與耦合框相連接的質(zhì)量塊以及位于所述質(zhì)量塊中心的固定塊；所述基座以及所述固定塊與所述上蓋板及所述下蓋板相固定連接；所述質(zhì)量塊與所述耦合框通過多個彈性梁相連接；所述質(zhì)量塊與所述固定塊之間設(shè)置有第一梳狀耦合結(jié)構(gòu)；所述耦合框的一側(cè)設(shè)置有支撐梁；所述耦合框通過所述支撐梁與所述基座相連接；所述耦合框的側(cè)壁的上部及下部分別設(shè)置有諧振梁，所述諧振梁一端與所述耦合框相連接，另一端分別與基座相連接；所述諧振梁與所述基座之間還設(shè)置有第二梳狀耦合結(jié)構(gòu)；所述諧振梁以及所述第二梳狀耦合結(jié)構(gòu)用于檢測轉(zhuǎn)動角速度。