一種MEMS陀螺儀及其制造工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310221525.3 申請日 -
公開（公告）號 CN104215232A 公開（公告）日 2014-12-17
申請公布號 CN104215232A 申請公布日 2014-12-17
分類號 G01C19/567(2012.01)I;G01C25/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 于連忠;孫晨 申請（專利權(quán)）人 浙江芯動科技有限公司
代理機構(gòu) 北京金之橋知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所;浙江芯動科技有限公司
地址 100029 北京市朝陽區(qū)北土城西路19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種MEMS陀螺儀，包括：測量體、與所述測量體相連接的上蓋板硅片以及下蓋板硅片；所述測量體包括外框架、位于所述外框架內(nèi)的內(nèi)框架以及質(zhì)量塊；所述外框架與所述內(nèi)框架之間通過第一彈性梁相連接；所述質(zhì)量塊與所述內(nèi)框架通過所述第二彈性梁相連接。所述質(zhì)量塊和內(nèi)框架之間設(shè)置有四組相互對應(yīng)的梳狀耦合結(jié)構(gòu)。所述測量體的上下表面上均鍵合有帶電極的蓋板硅片。并與測量體之間形成一電容。本發(fā)明通過測量蓋板硅片與測量體之間的平板電容的變化來計算出旋轉(zhuǎn)的角速度。本發(fā)明具有檢測靈敏度、準確度高等特點。