高精度的成像系統(tǒng)、方法及檢測(cè)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011284549.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112098424A 公開（公告）日 2020-12-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112098424A 申請(qǐng)公布日 2020-12-18
分類號(hào) G01N21/88;G01N21/01;G03B15/02;G02B19/00;G02B13/22 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 崔忠偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京領(lǐng)邦智能裝備股份公司
代理機(jī)構(gòu) 北京墨丘知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 北京領(lǐng)邦智能裝備股份公司
地址 100094 北京市海淀區(qū)永豐產(chǎn)業(yè)基地永捷北路3號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實(shí)施例公開了一種高精度的成像系統(tǒng)、方法及檢測(cè)設(shè)備，所述成像系統(tǒng)包括：鏡頭、透鏡組、分光鏡和發(fā)光面；其中，所述透鏡組包括至少一個(gè)透鏡，具有等效的正光焦度、焦點(diǎn)和第一透鏡光軸；所述發(fā)光面與所述透鏡組等效的焦平面的位置差異不超過第一預(yù)設(shè)范圍；所述第一透鏡光軸經(jīng)所述分光鏡反射形成第二透鏡光軸；所述鏡頭具有鏡頭光軸，所述鏡頭光軸穿過所述分光鏡，且所述鏡頭光軸與所述第二透鏡光軸的角度偏差不超過第二預(yù)設(shè)范圍；第一預(yù)設(shè)范圍為距離偏差±10mm和/或角度偏差±20度；第二預(yù)設(shè)范圍為角度偏差±15度。本發(fā)明的技術(shù)方案通過照明和成像鏡頭的一體化設(shè)置，有效提升了成像的一致性，可獲得高精度且穩(wěn)定的工件圖像。