靶材背板及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011182839.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112323026A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112323026A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-05 |
| 分類號(hào) | C23C14/34(2006.01)I;B23P15/00(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 周磊;竇沛靜;張競(jìng)中 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 珠海和澤科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 張龍哺 |
| 地址 | 519045廣東省珠海市金灣區(qū)聯(lián)港工業(yè)區(qū)雙林片區(qū)虹輝5路7號(hào)廠房3棟第一層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種靶材背板，包括：背板主體，正面設(shè)置有靶材，背面設(shè)置有流道，流道具有進(jìn)液口和出液口，流道可供冷卻液流動(dòng)；蓋板，設(shè)置于背板主體的背面并遮蓋流道；密封圈，設(shè)置于蓋板與所述流道之間，用于密封所述流道。使用時(shí)，可將靶材設(shè)置于背板主體的正面，使冷卻液可從位于背板主體背面的流道進(jìn)液口流入，從出液口流出，冷卻液可將位于背板主體正面的靶材的熱量帶走，從而降低靶材在濺射鍍膜過(guò)程中的溫度，進(jìn)而可提升鍍膜質(zhì)量。此外，設(shè)置于蓋板與流道之間的密封圈可對(duì)流道起到密封作用。本發(fā)明還公開(kāi)了一種靶材背板的制作方法，可以使最終得到的靶材背板尺寸更為精確，且可有效減小靶材背板長(zhǎng)期使用后的變形量。?? |
