一種MEMS壓力傳感器裝于環(huán)形波紋管的接觸力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910831040.3 申請日 -
公開（公告）號 CN110514350A 公開（公告）日 2019-11-29
申請公布號 CN110514350A 申請公布日 2019-11-29
分類號 G01L11/02;G01L1/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 冉小東;梅運橋;蘇長遠;鐘少龍 申請（專利權(quán)）人 四川拜安科技有限公司
代理機構(gòu) 北京天奇智新知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 四川拜安科技有限公司
地址 610000 四川省成都市金牛高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)蜀西路42號5棟1單元2樓1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種MEMS壓力傳感器裝于環(huán)形波紋管的接觸力傳感器，包括上法蘭、下法蘭和光電解調(diào)儀，所述上法蘭和下法蘭相互靠近的一側(cè)固定安裝有同一個大波紋管，大波紋管內(nèi)設(shè)有小波紋管，上法蘭和下法蘭相互靠近的一側(cè)均與小波紋管固定連接，大波紋管、小波紋管、上法蘭和下法蘭組成環(huán)形腔室，下法蘭的底部固定安裝有引壓管，引壓管與環(huán)形腔室連通，環(huán)形腔室和引壓管內(nèi)設(shè)有填充液，引壓管上設(shè)有密封塞，引壓管的底端螺紋安裝有傳感器封裝結(jié)構(gòu)件，傳感器封裝結(jié)構(gòu)件的頂端固定安裝有MEMS光纖F?P壓力傳感器。本發(fā)明實用性高，具有結(jié)構(gòu)尺寸小，抗干擾能力強，測量精確度高，便于遠距離實時檢測壓力。