一種半導(dǎo)體級石墨粉的純化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111311118.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113735110A 公開（公告）日 2021-12-03
申請公布號 CN113735110A 申請公布日 2021-12-03
分類號 C01B32/215（2017.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 許正;趙麗霞;魏汝省;馬康夫;方芃博;陳琪;李剛;張辰宇;靳霄曦;張馨丹 申請（專利權(quán)）人 山西爍科晶體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 太原高欣科創(chuàng)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 崔雪花;冷錦超
地址 030006山西省太原市綜改示范區(qū)太原唐槐園區(qū)唐槐路5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體級石墨粉的純化方法，屬于半導(dǎo)體材料加工技術(shù)領(lǐng)域；該方法是將待純化的石墨粉置于感應(yīng)加熱爐內(nèi)，在1800?2200℃的條件下將感應(yīng)加熱爐腔體抽氣至真空狀態(tài)，隨后將氯化氫與氬氣的混合氣體通入腔體，通氣至壓力為700?900 mbar，維持2?4 h，使腔體內(nèi)氯化氫氣體與雜質(zhì)充分反應(yīng)，隨后抽氣將爐體壓力降低至近真空狀態(tài)；本發(fā)明解決了石墨粉中高沸點(diǎn)的金屬單質(zhì)及金屬化合物雜質(zhì)去除率較低的問題；降低了整個(gè)純化過程的危險(xiǎn)性。