一種用于圓片級(jí)鍵合中顆粒污染的在線檢測結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410030779.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103779252B 公開（公告）日 2016-05-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN103779252B 申請(qǐng)公布日 2016-05-04
分類號(hào) H01L21/66(2006.01)I;H01L23/544(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曾立天;焦斌斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇艾特曼電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 江蘇艾特曼電子科技有限公司
地址 214135 江蘇省無錫市新區(qū)菱湖大道200號(hào)國際創(chuàng)新園C2樓三樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公布了一種用于圓片級(jí)鍵合中顆粒污染的在線檢測結(jié)構(gòu)，其特征在于：該結(jié)構(gòu)包括蓋帽、襯底、鍵合環(huán)、測試電極、引線焊盤、以及空腔；所述蓋帽上有空腔；所述蓋帽與襯底通過鍵合環(huán)連為一體；所述引線焊盤附著在襯底上，并位于在空腔之外；所述測試電極附著在襯底上，并位于空腔之中，并引出至引線焊盤與其電連接。本發(fā)明提供的用于圓片級(jí)鍵合中顆粒污染的在線檢測結(jié)構(gòu)，可以通過測試電極之間的電阻值或頻率響應(yīng)判斷鍵合腔內(nèi)是否存在顆粒污染以及顆粒污染出現(xiàn)的位置。