對用于光學元件的封裝件進行氣密密封的方法和系統(tǒng)
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN200410086332.2 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN1638115A | 公開(公告)日 | 2005-07-13 |
申請公布號 | CN1638115A | 申請公布日 | 2005-07-13 |
分類號 | H01L25/00;H01L23/10;H01L21/50;B81B7/00 | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 楊曉 | 申請(專利權(quán))人 | 江蘇艾特曼電子科技有限公司 |
代理機構(gòu) | 北京東方億思知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 | 代理人 | 趙飛 |
地址 | 美國加利福尼亞州 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供了一種對器件進行氣密密封的方法。該方法包括提供包括多個個體芯片的襯底。每個芯片包括多個器件,并且每個芯片以空間方式被布置成第一陣列。該方法還提供預定厚度的透明構(gòu)件,所述透明構(gòu)件包括以空間方式布置成第二陣列的多個凹入?yún)^(qū)域和支座區(qū)域。該方法還包括以將多個凹入?yún)^(qū)域的每個結(jié)合到所述多個芯片的相應一個上的方式對準透明構(gòu)件。該方法還包括通過使用至少一種接合工藝來氣密密封相應凹入?yún)^(qū)域中的一個內(nèi)的每個芯片,以隔離凹入?yún)^(qū)域中的一個內(nèi)的每個芯片。 |
