確定測(cè)量模式和光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)容差的方法和裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201410542475.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN105571484B | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-07-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN105571484B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-07-06 |
| 分類號(hào) | G01B11/00;G06F17/30;B82Y35/00 | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王鑫;張振生;施耀明;徐益平 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京漢昊知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司 |
| 地址 | 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)華佗路68號(hào)6幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種用于確定OCD測(cè)量中的光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)容差的方案，其中，對(duì)于多個(gè)測(cè)量模式中的每一個(gè)測(cè)量模式所對(duì)應(yīng)的歸一化的信號(hào)偏移量；并從所述多個(gè)測(cè)量模式中選擇所對(duì)應(yīng)的歸一化的信號(hào)偏移量最大的測(cè)量模式，作為最佳測(cè)量模式；并根據(jù)最佳測(cè)量模式所對(duì)應(yīng)的未歸一化的信號(hào)偏移量，確定所述光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)容差。根據(jù)本實(shí)施例的方法，可以確定滿足各個(gè)結(jié)構(gòu)參數(shù)測(cè)量靈敏度和精確度需求的最佳測(cè)量模式，并確定各個(gè)光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)容差，從而提高測(cè)量的靈敏度和精確度。 |
