三維空間光源系統(tǒng)及相關(guān)的光測(cè)量設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201721201675.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN207850536U 公開（公告）日 2018-09-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN207850536U 申請(qǐng)公布日 2018-09-11
分類號(hào) G01J3/447;G01J3/10 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王立峰;葉薇薇;李宇 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號(hào)張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型的各實(shí)施例涉及一種三維空間光源系統(tǒng)及其相關(guān)的光測(cè)量設(shè)備，其中三維空間光源系統(tǒng)包括：光源；以及彼此獨(dú)立的多個(gè)光路，被配置為分別獨(dú)立地耦合到所述光源；其中，所述多個(gè)光路進(jìn)一步包括中間光路和多個(gè)外圍光路，所述多個(gè)外圍光路被配置為圍繞所述中間光路進(jìn)行布置并且能夠作為次級(jí)光源進(jìn)行輸出。由此，本實(shí)用新型的三維空間光源系統(tǒng)只需一個(gè)光源即可滿足橢圓偏振測(cè)量設(shè)備所需的多路光源需求，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、裝調(diào)方便、易于維護(hù)。