晶圓清潔箱內(nèi)微環(huán)境控制裝置及控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410110078.9 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN104952759B 公開（公告）日 2019-03-12
申請公布號(hào) CN104952759B 申請公布日 2019-03-12
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王英; 周萬泉; 李茂森; 陳寶龍 申請（專利權(quán)）人 上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號(hào)張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓清潔箱內(nèi)微環(huán)境控制裝置，其適用于控制所述微環(huán)境以防止清潔后的晶圓被再次污染，包括：具有控制模塊、溫度探測器和壓差計(jì)的控制部分、冷卻氣體輸入管路、排氣管路、不活潑氣體輸入管路以及去污干燥裝置。該裝置可在晶圓被加熱清潔之后使晶圓清潔箱與冷卻氣體源可連通，向箱內(nèi)輸送冷卻氣體來將晶圓冷卻至箱外環(huán)境溫度；同時(shí)在冷卻結(jié)束之后使晶圓清潔箱與不活潑氣體源可連通，向箱內(nèi)輸送不活潑氣體；另外，在冷卻氣體或不活潑氣體進(jìn)入晶圓清潔箱之前先進(jìn)行干燥和去污，從而避免在晶圓的冷卻過程以及晶圓進(jìn)入下一道工序之前被再度污染。本發(fā)明還提供一種晶圓清潔箱內(nèi)微環(huán)境控制方法。