一種用于優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)的方法和裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410542473.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105571483B 公開（公告）日 2018-06-26
申請公布號 CN105571483B 申請公布日 2018-06-26
分類號 G01B11/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王鑫;張振生;施耀明;徐益平 申請（專利權(quán)）人 上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司
代理機構(gòu) 北京漢昊知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)華佗路68號6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)的方案，該方案中，對于多個測量模式中每一個測量模式，確定與該測量模式對應(yīng)的系統(tǒng)噪聲；對于待測結(jié)構(gòu)模型的每個結(jié)構(gòu)參數(shù)，通過確定該結(jié)構(gòu)參數(shù)在該測量模式下的可控測量精度，并根據(jù)該結(jié)構(gòu)參數(shù)在所述多個測量模式下的多個可控測量精度，確定該結(jié)構(gòu)參數(shù)的一個或多個可選測量模式，并將該結(jié)構(gòu)參數(shù)分別在所述一個或多個可選測量模式下的一個或多個可控測量精度，作為該結(jié)構(gòu)參數(shù)對應(yīng)的可控測量精度。