物體表面高度快速定位的方法與裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410190950.5 申請日 -
公開（公告）號 CN105091759B 公開（公告）日 2018-08-24
申請公布號 CN105091759B 申請公布日 2018-08-24
分類號 G01B11/03 分類 測量；測試;
發(fā)明人 黨江濤;黃建華;李娟 申請（專利權）人 上海浦東新興產業(yè)投資有限公司
代理機構 北京市金杜律師事務所 代理人 睿勵科學儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于物體表面高度快速定位的方法與裝置，該方法包括：A.基于表征待測物體表面特征的第一曲面，確定測量點所對應的所述第一曲面中的第一位置；B.基于所述第一位置，確定所述測量點的聚焦位置。本發(fā)明通過ZMap數(shù)據(jù)，可以快速預估計任意點的聚焦位置，聚焦速度得到極大的提高。