基于前值的關(guān)鍵尺寸測量方法和設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510323992.6 申請日 -
公開（公告）號 CN106289095B 公開（公告）日 2019-02-19
申請公布號 CN106289095B 申請公布日 2019-02-19
分類號 G01B11/24;G06F16/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張振生;施耀明;孫冬梅;陳慧萍 申請（專利權(quán)）人 上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司
代理機構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于前值的關(guān)鍵尺寸測量方法和設(shè)備。該基于前值的測量方法，包括：A.獲取樣品在前次工藝步驟中的第一測量數(shù)據(jù)；B.構(gòu)建樣品在當前工藝步驟中的光譜數(shù)據(jù)庫，其中，在當前工藝步驟中的樣品輪廓與前次工藝步驟中的樣品輪廓至少部分地相關(guān)聯(lián)；C.在前次工藝步驟中的測量區(qū)域上獲取樣品在當前工藝步驟中的測量光譜；D.基于樣品在前次工藝步驟中的輪廓參數(shù)的數(shù)據(jù)，在光譜數(shù)據(jù)庫中對測量光譜進行匹配分析，進而確定樣品在當前工藝步驟中的輪廓參數(shù)的數(shù)據(jù)。