泡生法生長藍寶石晶體的自動引晶方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210374391.4 申請日 -
公開(公告)號 CN102877120B 公開(公告)日 2015-04-08
申請公布號 CN102877120B 申請公布日 2015-04-08
分類號 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 承剛;李京波;李慶躍;李凱;汪林望;池旭明;夏建白 申請(專利權)人 浙江東晶光電科技有限公司
代理機構 金華科源專利事務所有限公司 代理人 浙江東晶光電科技有限公司;寧夏昊晶光電科技有限公司
地址 321016 浙江省金華市秋濱街道花溪路218號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于藍寶石單晶生長技術領域,具體是一種泡生法生長藍寶石晶體的自動引晶方法,其特征在于:引晶運行首先將稱重機構自動進行歸零;程序通過曲線自動計算出籽晶的重量變化,若此重量變化在10-20g,程序將進入自動進行拉環(huán)動作,否則程序將自動調節(jié)電壓使晶體重量變化滿足要求;拉環(huán)過程中稱重系統(tǒng)將自動計算晶體重量的變化率,并通過程序自動調節(jié)電壓,程序繼續(xù)計算變化率,直至晶體重量的變化率控制在0.1g/min至0.5g/min之間時,引晶完成,自動進入生長階段。采用本發(fā)明引晶方法生長藍寶石晶體,爐引晶爐數不再受引晶工程師數量的限制,生產規(guī)??裳杆偬岣撸瑥亩?jié)約大量的人力成本,大大降低生產成本。