泡生法生長藍寶石晶體的自動引晶方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201210374391.4 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN102877120B | 公開(公告)日 | 2015-04-08 |
申請公布號 | CN102877120B | 申請公布日 | 2015-04-08 |
分類號 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分類 | 晶體生長〔3〕; |
發(fā)明人 | 承剛;李京波;李慶躍;李凱;汪林望;池旭明;夏建白 | 申請(專利權)人 | 浙江東晶光電科技有限公司 |
代理機構 | 金華科源專利事務所有限公司 | 代理人 | 浙江東晶光電科技有限公司;寧夏昊晶光電科技有限公司 |
地址 | 321016 浙江省金華市秋濱街道花溪路218號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明屬于藍寶石單晶生長技術領域,具體是一種泡生法生長藍寶石晶體的自動引晶方法,其特征在于:引晶運行首先將稱重機構自動進行歸零;程序通過曲線自動計算出籽晶的重量變化,若此重量變化在10-20g,程序將進入自動進行拉環(huán)動作,否則程序將自動調節(jié)電壓使晶體重量變化滿足要求;拉環(huán)過程中稱重系統(tǒng)將自動計算晶體重量的變化率,并通過程序自動調節(jié)電壓,程序繼續(xù)計算變化率,直至晶體重量的變化率控制在0.1g/min至0.5g/min之間時,引晶完成,自動進入生長階段。采用本發(fā)明引晶方法生長藍寶石晶體,爐引晶爐數不再受引晶工程師數量的限制,生產規(guī)??裳杆偬岣撸瑥亩?jié)約大量的人力成本,大大降低生產成本。 |
