一種用于質(zhì)譜檢測的介電型樣品靶片及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911252189.2 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN110931344B 公開（公告）日 2022-06-03
申請公布號(hào) CN110931344B 申請公布日 2022-06-03
分類號(hào) H01J49/04（2006.01）I;H01J49/40（2006.01）I;G01N27/64（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 盧瀚侖;陳志濤;王巧;劉寧煬 申請（專利權(quán)）人 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 510000廣東省廣州市天河區(qū)長興路363號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N用于質(zhì)譜檢測的介電型樣品靶片及其制作方法，涉及檢測技術(shù)領(lǐng)域。該靶片包括介質(zhì)層與第一導(dǎo)電層，其中，介質(zhì)層包括正面與背面，且介質(zhì)層的正面上設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)載樣區(qū)；同時(shí)介質(zhì)層與第一導(dǎo)電層連接，且第一導(dǎo)電層連接于介質(zhì)層的背面；同時(shí)，根據(jù)實(shí)際需求該靶片還應(yīng)包括第二和/或第三導(dǎo)電層。第二導(dǎo)電層連接于介質(zhì)層正面載樣區(qū)內(nèi)、第三導(dǎo)電層連接于介質(zhì)層正面非載樣區(qū)。本申請?zhí)峁┑挠糜谫|(zhì)譜檢測的介電型樣品靶片及其制作方法具有信噪比更加理想、工藝簡單，成本更低的優(yōu)點(diǎn)。