一種生物電子芯片及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910995677.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110672700B 公開（公告）日 2022-06-03
申請公布號 CN110672700B 申請公布日 2022-06-03
分類號 G01N27/414（2006.01）I;H01L29/778（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 盧瀚侖;陳志濤;劉寧煬;任遠;梁錫輝 申請（專利權(quán)）人 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
代理機構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 510000廣東省廣州市天河區(qū)長興路363號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N生物電子芯片及其制作方法，涉及生物檢測技術(shù)領(lǐng)域。首先基于襯底的一側(cè)制作包含柵電極層的芯片本體，然后基于柵電極層遠離襯底的一側(cè)制作過渡層，再基于過渡層遠離襯底的一側(cè)制作偶聯(lián)分子層；其中，偶聯(lián)分子層包括第一偶聯(lián)分子，最后沿偶聯(lián)分子層的表面偶聯(lián)經(jīng)預(yù)處理后的生物分子層，以制作生物電子芯片，其中，經(jīng)預(yù)處理后的生物分子層包括第二偶聯(lián)分子，第一偶聯(lián)分子與第二偶聯(lián)分子之間能夠進行可逆反應(yīng)。本申請?zhí)峁┝艘环N生物電子芯片及其制作方法具有提升了生物電子芯片的使用壽命，降低了使用成本的優(yōu)點。